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MEMS傳感器架構

普渡大學自我校正MEMS提供靈敏的感測能力

普渡大學的Jason Vaughn Clark要讓MEMS傳感器再次革新，他聲稱已經開發(fā)出一套結合Electro micro metrology（EMM）的工藝制程，可讓傳感器進行自我校正，提供更精確的感測能力，這也是業(yè)界首個不需要通過外部裝置的自我校正MEMS傳感器架構。

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