隨著國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展，行業(yè)間的競爭也隨之日漸激烈，加之成本上升、國外政策等問題，減少生產(chǎn)成本、提升生產(chǎn)效率成了企業(yè)的目標(biāo)。

半導(dǎo)體生產(chǎn)是一種具有高度復(fù)雜的生產(chǎn)工藝，對生產(chǎn)環(huán)境、生產(chǎn)工序都有著極為嚴苛的要求，尺寸特殊且非常精密，幾乎無法手動生產(chǎn)集成電路。而RFID技術(shù)作為物聯(lián)網(wǎng)的感知層面，是現(xiàn)實世界與虛擬世界進行信息交換與通信的核心環(huán)節(jié)之一，實現(xiàn)智能化識別、定位、跟蹤、監(jiān)控和管理等。

1、FOUP晶圓盒產(chǎn)線

將科智立RFID半導(dǎo)體讀寫器安裝在機械手臂上，晶圓盒部署RFID載碼體。當(dāng)機械手臂開始工作時，讀寫器自動采集載碼體的信息，了解產(chǎn)品的種類、加工情況，并匹配到生產(chǎn)控制系統(tǒng)中相對應(yīng)的生產(chǎn)工序?qū)Ξa(chǎn)品進行加工，跟蹤晶圓盒在加工流程中的具體位置，實時監(jiān)測所有的晶圓加工情況。

2、FOUP晶圓盒運輸

由機械手臂上的RFID半導(dǎo)體讀寫器識讀FOUP晶圓盒上的標(biāo)簽，獲取FOUP晶圓盒的產(chǎn)品信息，將晶圓盒放置在AGV小車上，AGV小車讀取晶圓盒上的標(biāo)簽，獲取到晶圓盒的存放地點并運輸至該地，實現(xiàn)物料的自動運輸。

3、晶圓存儲柜的使用

RFID半導(dǎo)體讀寫器安裝在存儲會承載平臺支撐板的下方，當(dāng)FOUP晶圓盒進入存儲柜時，半導(dǎo)體讀寫器識別RFID載碼體，判斷晶圓盒的存放信息、是否存放正確，并記錄此次存放的時間、數(shù)量、批次等信息。在必要時，可根據(jù)關(guān)鍵詞快速找到相對應(yīng)的晶圓。

科智立RFID半導(dǎo)體讀寫器設(shè)備

JY-V640

JY-V640是面向半導(dǎo)體制造業(yè)開發(fā)的半導(dǎo)體RFID讀寫器，采用HDX半雙工數(shù)據(jù)傳輸模式，支持SECS協(xié)議和Modbus RTU協(xié)議，符合世界SEMI標(biāo)準(zhǔn)，兼容TI公司產(chǎn)的CID載體，具有出色的讀寫可靠性和耐環(huán)境性，支持外部光電開關(guān)的IO信號觸發(fā)讀卡。

JY-V610

JY-V610半導(dǎo)體RFID讀取器小巧輕便，采用一體式設(shè)計，可靈活安裝。支持134.2kHz工作頻率，采用HDX半雙工數(shù)據(jù)傳輸模式，支持標(biāo)準(zhǔn)Modbus RTU協(xié)議，內(nèi)部集成射頻部分通信協(xié)議，使用操作簡單，無需理解復(fù)雜的射頻通信協(xié)議。

使用效益

1、提升半導(dǎo)體行業(yè)自動化水平；

2、有效減少人FOUP晶圓盒與人的接觸，避免灰塵堆積對產(chǎn)品品質(zhì)的影響；

3、采用自動化運輸，簡化管理，加快工作效率；

4、實時監(jiān)測生產(chǎn)流程、實時管理工作，實現(xiàn)效率的最大化；

5、避免人員過多的走動造成灰塵飛揚，大幅減少后期的維護工作。