本文在MEMS工藝制備的電極型免疫微傳感芯片的基礎(chǔ)上，設(shè)計(jì)和制備微反應(yīng)室以及微進(jìn)出樣溝道，利用SU-8膠和PDMS等材料搭建微流體系統(tǒng)，用以結(jié)合蠕動(dòng)泵完成敏感膜固定化及進(jìn)樣和清洗等免疫檢測(cè)操作過(guò)程，消除人為干擾，改善生物敏感膜制備以及免疫反應(yīng)環(huán)境，探索提高生物敏感膜固化的穩(wěn)定性和一致性，為提高免疫微傳感器檢測(cè)一致性的研究積累方法和經(jīng)驗(yàn)。
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