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MEMS技術
  • 壓力傳感器是使用最為廣泛的一種傳感器。傳統(tǒng)的壓力傳感器以機械結構型的器件為主，以彈性元件的形變指示壓力，但這種結構尺寸大、質(zhì)量輕，不能提供電學輸出。隨著半導體技術的發(fā)展，半導體壓力傳感器也應運而生。其特點是體積小、質(zhì)量輕、準確度高、溫度特性好。特別是隨著MEMS技術的發(fā)展，半導體傳感器向著微型化發(fā)展，而且其功耗小、可靠性高。
  • 伴隨著MEMS技術和無線通訊技術、傳感器技術的飛速發(fā)展，無線傳感器網(wǎng)絡在工業(yè)控制、軍事生產(chǎn)、生活、醫(yī)療、教育科研中有了更廣泛的應用。為此，論述了在智能家居中一種架構于CC2430芯片基礎上面的無線數(shù)據(jù)傳輸模塊的設計方法。
  • 射頻(RF)設計目前最強大的趨勢是推動可配置/免頻帶的無線和天線設計。使RF元件可以數(shù)位化重新配置的優(yōu)點與需求逐漸增加，因此能夠精確且數(shù)位化地控制頻率和阻抗值，并持續(xù)對系統(tǒng)性能進行最佳化。
  • 在二十世紀90年代早期，汽車安全氣囊系統(tǒng)就開始大量采用MEMS加速度計。在其后的十年中，MEMS技術的第二次應用浪潮被掀起。
  • 針對MEMS材料、設計、制造、檢測、工藝、裝備與系統(tǒng)集成等關鍵技術，建立MEMS醫(yī)療電子研發(fā)體系和產(chǎn)業(yè)化基地，圍繞醫(yī)療電子開發(fā)出若干小批量、多品種、高質(zhì)量MEMS器件及微系統(tǒng)，推動MEMS的可持續(xù)發(fā)展和未來產(chǎn)業(yè)化的形成打下良好的基礎。
  • MEMS技術是采用微制造技術，在一個公共硅片基礎上整合了傳感器、機械元件、致動器(actuator)與電子元件。MEMS通常會被看作是一種系統(tǒng)單晶片(SoC)，它讓智能型產(chǎn)品得以開發(fā)，并得以進入很多的次級市場，為包括汽車、保健、手機、生物技術、消費性產(chǎn)品等各領域提供解決方案。